型號 : ＨＬＭ 產品名稱 : 機器中文名：雷射乾式蝕刻系統

A' 大尺吋工作面積—550mm X 550mm
B' 高速加工速度
C' 可搭配不同雷射源：CO2、DP-YAG、綠光、UV雷射
D' CCD自動對位功能
E' 自動雷射校正
F' 定位精度高
G' 重覆精度高

A' ITO薄膜雕刻絕緣線
B' ITO 薄膜切割
C' FPD薄膜切割
D' 太陽能電池蝕刻
E' 被動元件雕刻